导师简介】邓涛，北京交通大学电子信息工程学院教授，博士生导师，国家青年人才计划入选者，北京交通大学本科生院副院长、微纳电子研究所所长、电子科学与技术国家级一流专业建设点负责人。长期从事微机电系统（MEMS）传感器芯片、MEMS专用集成电路设计、无线智能传感微系统等方面研究，主持国家自然科学基金等国家级科研项目近10...
2025-02-15
电子科技大学电子科学与工程学院（示范性微电子学院）张晓升教授团队与北京新风航天装备有限公司检测与控制技术研究室团队联合研制了一种适用于单片集成多功能传感阵列芯片的高灵敏度谐振式温度传感单元。该温度传感单元采用基于硅上压电薄膜（TPoS）结构的音叉式微机电谐振器作为核心部分，利用TPoS叠层结构自带的热应力放大效应，...
2025-01-26欢迎关注，了解更多资讯
在线咨询
电话联系